德州集成电路关键材料基地建设

德州集成电路关键材料基地建设


8月18日，在德州市天衢新区，山东有研集成电路刻蚀设备用硅材料项目和集成电路用8英寸硅片扩产项目举行开工仪式。
“芯片”，是新一代信息技术产业的核心。山东有研是德州2018年引进的央企项目，作为德州市新一代信息技术产业链上的半导体材料生产龙头企业，目前生产的产品广泛应用于集成电路、功率器件等多个领域，打破了国外垄断，重点满足我国物联网、汽车电子、工业制造、手机摄像头等领域需求。
集成电路关键材料基地初具规模
据山东有研半导体材料有限公司副总经理常青介绍，集成电路刻蚀设备用硅材料项目和集成电路用8英寸硅片扩产项目均为有研半导体硅材料股份公司上市募投项目。集成电路刻蚀设备用硅材料项目主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，项目达产后年新增硅材料204吨，年实现营业收入3.9亿元，年利润总额为1.4亿元；集成电路用8英寸硅片扩产项目全部达产后新增8英寸硅片产品120万片/年的生产能力，年均营业收2.4亿元，净利润6700万元。
“集成电路刻蚀设备用硅材料项目生产的产品为集成电路刻蚀设备所用的硅部件，是集成电路生产过程中刻蚀工序的消耗性材料，本产品的难度在于直拉硅单晶制备过程中的工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和产品单位成本持续降低的控制。集成电路用8英寸硅片扩产项目的产品为集成电路用直径8英寸硅抛光片，是集成电路生产过程中的原料。”常青告诉记者，这两个项目将进一步拓宽公司的产品范围，提高公司产品的市场占有率。
“这几年，我们与中国有研建立了密切关系，从2018年至今，先后引进了有研集成电路用8英寸硅片、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料、8英寸扩产和有研工研院等六个项目，总投资近百亿，集聚打造了占地1000亩的集成电路关键材料基地，已经初具规模。”德州经济技术开发区党工委委员、管委会副主任王元同告诉记者，这几个项目，将使得德州市乃至山东省在集成电路关键材料领域，硅材料处于国内第一方阵、靶材生产技术遥遥领先。
有研多个项目陆续落地德州，不是偶然
从2017年有研到多地调研考察，到2018年7月26日，有研半导体项目签约，再到2020年，德州8英寸集成电路用硅片通线量产，如今，多个项目陆续落地德州，集成电路关键材料基地初具规模，这并不是偶然。
“德州真心实意为我们提供贴心的服务，优惠的政策。”常青告诉记者，从项目的审批、工作专班及时解决项目建设过程中遇到的难题、水电气等配套设施的建设、人才待遇等等，每一个细节都体现出德州优良的营商环境。
常青介绍，硅单晶的拉制是一个极其复杂的过程，缺陷尺度要控制在纳米级，对工艺、材料和设备都有极高要求。“在拉制过程中，要控制精确温度和拉速，水、电和氩气等动力条件的供应稳定性要求非常严苛，最害怕的就是发生抖动和能源供应的不稳定，如果断电，不仅会造成几百万的经济损失，还存在安全隐患。为保证能源供应的稳定性，德州专门为我们建设了专用变电站，实行双回路供电。”常青说。
另外，由于受到社会保险缴纳地、个人档案等原因的限制，公司的高端人才虽然在德州工作，却无法享受到当地的各类人才政策补贴。针对这一痛点，2022年11月，德州市委人才工作领导小组办公室印发了《德州市人才政策“破格权”实施细则》，对重点科研类平台和近3年从市外招引的重大“双招双引”项目，可不受平台性质限制，参照本市具有独立法人资格企业标准，同等享受市级和所在县（市、区）人才政策。其中，全职在本市工作的人才，可不受社会保险缴纳地和个人档案限制，同等享受市级和所在县（市、区）人才政策。在德州市公布的第一批享受人才政策“破格权”用人单位中，山东有研半导体材料有限公司和山东有研艾斯半导体材料有限公司等企业被纳入。
“有研项目是德州深化融入京津冀协同发展、‘双招双引’推动高质量发展的典范，为促进德州的产业转型升级、加快新旧动能转换提供有力支撑，让德州乃至全省在全国的集成电路方面有了一席之地。并且，增加了大量就业机会，未来我们将继续为有研做好全方位的服务。”王元同表示。